規格

測量面對基面垂直度

測量面平面度或垂直度

基面平面度或直線度

精度等級(微米)

00

0

00

0

00

0

SC100×63

2

4

1

1

1

1

SC160×100

2

4

1

2

1

1

SC250×160

2.5

5

1

2

1

2

SC400×250

3.5

7

1

2.5

1

2

SC630×400

4.5

9

1.5

3

1

2.5

SC1000×630

6

12

2.5

5

1.5

3